[논문게재] 충남대학교 에너지과학기술대학원 장효식 교수님 연구실의 연구 결과가 ’ Thin Solid Films’지에 게재되었습니다.
| [논문게재] 충남대학교 에너지과학기술대학원 장효식 교수님 연구실의 연구 결과가 ’ Thin Solid Films’지에 게재되었습니다. |
| 작성자 |
관리자 |
| 조회수 |
748 |
등록일 |
2023.02.09 |
- - Improved passivation performance of Al2O3 interlayer/MoOX thin films continuously grown via atomic layer deposition
- - Minji Jeong, Jihye Park, Young Joon Cho, Hyo Sik Chang*
- - Thin Solid Films,2023, (IF : 2.358)
- - 2023.01.28, DOI: 10.1016/j.tsf.2022.139667
- 본 연구는 Atomic Layer Deposition (ALD) 증착 방식의 MoO3 를 증착 하고 계면 결함을 줄이기 위해 interlayer Al2O3를 추가하여 계면에 결함을 줄여 효율 향상에 대한 기대를 높일 수 있는 연구를 진행하였습니다.
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